无尘车间内部污染源来自以下几个方面：
①操作人员散发尘、菌。 ②室内表面的产尘。 ③生产设备及生产过程中的产尘。 ④大气中的污染物对室内的污染。
一、室内的空气
深圳无尘车间及其传播途径
人员发尘是无尘车间内空气污染源的最主要来源，人动作时的发尘量相当复杂，人静止（或基本静止）时的发尘量和激烈活动时的发尘量大约相差10倍。一个人在室内活动时不可能都是激烈活动，如果取这些动作的平均，可以认为一个人在室内活动时的发尘量为其静止（或基本静止）时的5倍。
根据工艺性质、人的动作的多少和强弱的不同，这个倍数是不同的，可以分为较低（劳动强度极低或坐着操作，几乎很少起来活动）和较高（劳动强度比一般水平高或活动比较频繁）两类，当然，人体发尘量还与服装有很大的关系，和服装的洗晾、吹淋等也有很大关系。
2、设备及工艺发尘
设备的产尘以转动设备尤为突出，电动机（尤其是带炭刷的电机）、齿轮转动部件、伺服机械部件、液压和气动启动器开关或人工操作的设备，都会由于移动（转动）着的表面之间的摩擦而产生微粒。
3、与无尘车间相邻的污染区域
与无尘车间周边相邻或相通的，较低洁净度的区域或非洁净区域，由于人员、材料的进出携带的污染空气，或沉降在人员、物料上的污染物被带入，是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。
4、未经过滤的送风
在正常情况下，新建、改建无尘车间或是末级过滤器更换后，按规范要求进行了严格的验收检测，则高效过滤器本身、高效过滤器与支撑框架的接触面如有泄漏，都应被查出并予以处理。
5、原材料、包装等
对进入无尘车间的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法，以及进入无尘车间的程序等，都应该按照无尘车间运行管理的相关规范执行。但即使严格按照相关规范和程序操作，仍然难以完全杜绝粘附在原材料、容器、包装，特别是一些难以彻底清洁的产品的细小组件上的污染物被带入无尘车间。
